Με υπεράνθρωπες προσπάθειες κατάφερε να τον απελευθερώσει και τον πήρε μαζί του στο Άγιον Όρος, όπου τον έκειρε μοναχό παρά το νεαρό της ηλικίας του. Υπό την πίεση όμως των μοναχών του, που φοβούνταν αντίποινα εκ μέρους των Τούρκων, ο όσιος Θεοφάνης αναγκάστηκε να εγκαταλείψει τον Άθω μαζί με τον ανιψιό του. Βρήκαν άσυλο στη Σκήτη του Τίμιου Προδρόμου κοντά στη Βέρροια, όπου η ακτινοβολία των αρετών του και της διδασκαλίας του προσείλκυσαν γρήγορα κοντά του πλήθος ζηλωτών της ευσέβειας, που ζητούσαν από τον όσιο να τους ενδύσει το μοναχικό Σχήμα.
Ο Θεοφάνης οργάνωσε την αδελφότητα κατά την αθωνική παράδοση και έκτισε μία εκκλησία αφιερωμένη στην Θεοτόκο. Όταν ο ανιψιός ωρίμασε πνευματικά, τον άφησε να καθοδηγεί την κοινότητα κι αυτός μετέβη στα πλησιόχωρα της Νάουσας, όπου ίδρυσε ένα καινούργιο μοναστήρι με ναό αφιερωμένο στους Ασωμάτους. Οι πιστοί της περιοχής αυτής της Μακεδονίας ωφελήθηκαν τα μέγιστα από την παρουσία αυτού του ασύλου της αγιότητος, όπου μπορούσαν να βρουν παρηγοριά και στήριγμα στις δοκιμασίες των χρόνων εκείνων της δουλείας, ενώ πολλοί ανάμεσά τους ζητούσαν από τον όσιο να ακολουθήσουν την αγγελική πολιτεία του. Μετά από λίγο καιρό ο Θεοφάνης επέστρεψε στη Βέρροια για να επισκεφθεί τους αδελφούς και να τους παροτρύνει πατρικά στους ασκητικούς αγώνες τους.
Πέρασε τον υπόλοιπο του βίου του στην μονή αυτή και έφθασε σε προχωρημένη ηλικία. Έχοντας γνώση της ημέρας του θανάτου του εκ των προτέρων, συγκέντρωσε όλους τους αδελφούς για να τους δώσει τις τελευταίες διδαχές του και να τους παροτρύνει για μία ακόμη φορά να επεκτείνονται προς τα επηγγελμένα στους εκλεκτούς αγαθά στην αιώνια ζωή. Παρέδωσε κατόπιν την ψυχή του στον Θεό ευχαριστώντας τον για όλα. Τα τίμια λείψανά του κατατέθηκαν στην μονή της Βέρροιας, έκτος από την κάρα του που μεταφέρθηκε στην μονή της Νάουσας. Μετά την καταστροφή της μονής (1822), το τίμιο λείψανο μεταφέρθηκε στην πόλη της Νάουσας, όπου παραμένει μέχρι τις ημέρες μας πηγή άφθονης πνευματικής χάριτος και ιαμάτων.